Esempio di rimozione di ossido di silicio. In marrone si mostra il fotoresist, in azzurro chiaro la soluzione di acido fluoridrico, in azzurro scuro lo strato di ossido di silicio e in grigio il substrato di silicio.
Esempio di rimozione di ossido di silicio. In marrone si mostra il fotoresist, in azzurro chiaro la soluzione di acido fluoridrico, in azzurro scuro lo strato di ossido di silicio e in grigio il substrato di silicio.
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